通過電磁場或電場的作用，吸氣離子泵被電離的氣體會吸附在有吸氣材料的泵內表面上，真空就會由此形成了，吸氣離子泵分為濺射離子泵和蒸發離子泵這兩種，下面就問大家具體的介紹一些吸氣離子泵的這兩種類型。

　　濺射離子泵使用起來比較簡單、而且維護起來也比較的簡單，且費用較低，此外，濺射離子泵還具有可靠、無熱、無噪聲、無水、耗電少等優點;但是，其對惰性氣體和大分子量的有機蒸汽抽速較低，對污染很敏感;此外，濺射離子泵設有磁鐵，所以其重量和體積都比較大，從而就造成了單位抽速成本高的弊端。

　　蒸發離子泵的泵內被電離的氣體傳輸到以間斷或連續方式升華或蒸發而復在泵內壁的吸氣材料上而被吸附，對于氫、氮、氬和氦，蒸發離子泵都會出現不同的抽速。