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肯富來離子泵與分子泵的聯(lián)系與區(qū)別
肯富來的分子泵與離子泵的聯(lián)系與區(qū)別：
聯(lián)系：分子泵與離子泵都是真空泵。
區(qū)別：分子泵與離子泵的工作原理不同：
離子泵的工作原理:離子泵是由上下兩塊平行的板狀鈦陰極以及位于兩個陰極之間的柵狀不銹鋼陽極構(gòu)成。在兩個鈦陰極外部是兩張平行的板狀永久磁鐵，它們形成的磁場垂直穿過泵體。工作時，陰極表面溢出的自由電子在電磁場的作用下沿螺旋線軌跡飛向陽極。電子在飛行過程中與氣體分子發(fā)生碰撞并產(chǎn)生正離子和二次電子。二次電子沿著新的螺旋線軌跡繼續(xù)飛向陽極，并在飛行的過程中撞擊其他氣體分子；正離子則在電場力作用下加速，并最終撞擊在陰極表面。由于正離子具有較大動能，他在陰極表面的撞擊引起陰極表面鈦微粒子四散飛濺。一部分濺射出去的鈦微粒子在飛行過程中遇到活潑氣體分子并與之發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成氧化鈦、氮化鈦等固體物質(zhì)，降落并逐漸堆積在泵腔內(nèi)，從而將這些氣體分子固定住；另一些鈦微粒子在飛行過程中沒有與任何氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，又重新落在陰極或者陽極表面。另一方面，正離子在飛行過程中也會撞擊到一些其他的氣體原子，當(dāng)它與一些較輕的氣體原子發(fā)生碰撞時發(fā)生能量交換，從而使這些輕原子獲得了較高的速度而可以射入陰極材料內(nèi)部，隨著陰極材料表層所含這類氣體原子濃度的增加，部分氣體原子向陰極材料深處擴(kuò)散，從而使其被牢牢地鎖定。
分子泵的工作原理 ：分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
這種泵具體可分為：
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運(yùn)動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復(fù)合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。
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